第八十七章 头脑风暴！(第3/5 页)
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“准备好了吗？”罗佳问安然。
他刚从行政手里接过一杯咖啡，正在小口的喝，和罗佳一样，安然也有喝咖啡不加糖的习惯。
安然自信的笑了笑，用手指了指自己的脑袋，“我从来不需要什么准备，都在这里呢。”
罗佳点了点头，开始快速在巨大的白板上书写，直接就是一道复杂的DNQ曝光机理公式。
“目前全球在使用的光刻胶，无论哪一个等级，全部分为正性和负性，负性肉桂酸聚酯，正性氮萘醌加甲酚线性酚醛树脂。”
“机理如下，未曝光区域，ＤＮＱ与酚醛树脂通过偶联反应形成一体，曝光部分，ＤＮＱ吸收能量引起光化反应，转变为可以溶于显影液的物质，而未经感光部分不溶于显影液。”
不愧是公司两颗最强的大脑，罗佳刚开了一个头，安然马上明白了他的意思，站起来，在另外一块白板上以更快的速度书写。
“但是问题在于，现在使用的紫外光刻，波长193NM，而下一代极紫外光刻，也就是EUV，波长仅有13.5NM，缩短了14.2962863倍，我们不得不再原配方基础上，增加氧化金属，以加强感光性能，改性之后的第六等级光刻胶，虽然可以满足极紫外光蚀刻，但同时带来良品率下降的问题，也就是说，光栅成型的几率大大降低了。”
“罗总，你既然提出这个问题，恐怕是想到新的改性方案了吧？”安然说。
“不错。”
罗佳点头，又在白板上写下一长串更复杂的公式。
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