第三百七十七章 第四代光刻机的变态参数!(第5/5 页)
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陶氏化学作为全球最大的POE供应商,突然断供,对我国影响巨大,所以星辰化学现在临危受命,准备搞技术攻关。
另外罗佳还说,从这件事上要学会居安思危,塞拉尼斯集团的醋酸纤维丝,超分子量聚乙烯,聚苯硫醚PPS,英威达和奥盛德集团的PA66,伊斯曼集团的,这些化工产品也要尽快完成进口替代。
反正罗佳是从化学,直接就跳到了光刻机,把正聚精会神听讲的观众们吓了一大跳,以为罗佳还要再扯一会儿呢,竟然直接进入正题了。
“我知道,很多西方同行在怀疑,我们这套究竟是不是真正的第四代光刻系统。”罗佳大声宣布道:“现在,怀疑的人可以睁大眼睛看清楚了,这是如假包换的第四代,超级紫外混合激光刻蚀曝光系统!”
“如这张简要设计图所示,我们在这套系统中,创造出了波长为零点五纳米的超紫外混合激光,其精度,是目前全球最先进,机台的整整二十七倍!”
“而为了获得比极紫外更强的光源,星辰光学团队研发了CSMT全反射变焦镜头组件,变焦十六倍,数值孔径零点零三三,最大曝光范围七十六乘以九十三毫米!”
“这套透镜,是德国卡尔蔡司透镜性能的,整整三十倍!”
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