第二百九十九章 研发中的第四代光刻机(第4/5 页)

罗佳异想天开，决定弯道超车，绕过由紫外光，深紫外光，极紫外光组成的前三代核心技术，直接进入光刻机的第四代，超紫外混合激光，这其中的难度，外行人是永远无法明白的。

唰~

温成岭正思考着，实验室的密封门忽然在他面前打开了。

他笑了笑，在进入实验室之前对罗佳认真的说道：“罗总，我的专业是激光，也自信能够搞定光刻机的光源问题，但您应该也知道，一台光刻机仅仅有光源是不够的，其他数以千计的核心零部件，我可就无能为力了。”

这算是给罗佳打预防针了，他说这话的意思是，我能帮你把超紫外混合激光搞出来，但激光之外的事情，我也是无能为力，还要看星辰科技自己的力量。

罗佳只是点头笑了笑，并没有说什么。

两个人很快来到这台机器跟前，罗佳淡淡的说，“这就是我们的初代机，它共分为十三大结构，分别是激光发生器，光束矫正器，能量控制器，光束形状调整器，遮光器，能量探测器，掩膜版，掩膜台，物镜，测量台，曝光台，封闭框架，磁悬浮减震。”

罗佳指着机器，介绍这台复杂的组成。

虽然听名字似乎很简单，但就算用脚后跟想也能明白，作为半导体行业的王冠，又怎么可能简单呢。

就拿这台光刻机的物镜来说，如果你以为那是一个类似单反镜头东西，那就完全错了。

型光刻机采用的物镜，高达一米八四，宽度接近七十公分，是德国光学巨头卡尔.蔡司集团，与激光巨头亚琛集团联合制造的。