第二百九十九章 研发中的第四代光刻机(第1/5 页)
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温成岭跟随罗佳离开办公室，来到光学部地下三层。
在那里，温成岭见到了一部机器，一部验证原型机，型号为超光刻初代。
“这是一台光刻机？”
温成岭停下脚步，疑惑的问，同时露出震惊的表情。
商用型号光刻机会进行外包装，而这台是初代机，所以内部元器件都是裸露在外的，透过落地玻璃，可以一览无余。
温成岭震撼于这台机器的设计，它个体很大，拥有多达六个机台，其中三个是测量机台，另外三个是标准曝光台。
更多机台可以提高光刻机的工作效率，每小时产出更多硅片。
然而增加机台的同时，也对机械结构以及机台的减震能力，提出了更高要求，难度系数呈几何倍数增加，所以绝大多数光刻机的机台都只有两个。
光刻机是半导体领域的皇冠，需要无尘环境，此刻罗佳他们站在实验室外面，隔着一层玻璃。
“要不要进去看一看？”罗佳问道。
“真的可以吗？”温成岭微微一怔，显得非常激动。
“当然了，我们去换防尘服。”罗佳笑着说。